トータルソリューション

素材
• アルミナ(最大99.7%)
• 炭化ケイ素
• 窒化ケイ素
• 窒化アルミニウム
• ジルコニア
• ポーラス

事例
ドーム、ベル・ジャー、ウィンドウ、ノズル、シャドーリング、インナーリング、エンドエフェクター
トレイ、サセプター、プレート、バキューム・チャック、ガイド

サイズ
• 直径：850mm まで
• 平坦度：±0.05μm
• 長さ：最大2000mm まで
• 穴径：0.2mm
• 公差：±0.5μm
• 厚み：0.1mm