表面処理

素材
• 酸化イットリア(Y2O3)
• フッ素系酸化イットリウム(YOF)
• PTFE/PFA
• テフロン
アーク・スプレー

事例
• トップ/アッパー・チャンバー、チャンバー・ライナー • ライナー・ドア、エンドエフェクター、インシュレーター、GDP、ウィンドウ、プレート、電極、カソード・スリーブ、シールド、シャッターなど