半導体用の熱処理用セラミック部品

露光およびウェハプロセスのニーズに応じた高純度で高品質なセラミック材料部品を提供しています。これには、ライトカバー、プラズマチューブ、光源コンポーネント、ヒートシンク、ウェハ吸引装置、ステップチャック、ポーラス吸引装置、静電吸引装置、フォトマスク基板、セラミックガイドレール、ウェハホルダーコンポーネントおよびワークテーブル、電気絶縁体コンポーネントなどがあります。