酸化イットリウム（Y2O3）は、通常のセラミックスにはない反磁性を有し、透明性に優れたセラミックス材料です。さらに、酸化イットリウムは希土類酸化物として、セラミック製造における重要な添加剤としても利用され、関連するセラミック材料および製品の品質と性能を大幅に向上させることができます。
JFMは先進的な材料製造技術と精密加工技術を駆使し、カスタマイズされた酸化イットリウムセラミック窓のソリューションを提供しています。半導体エッチング装置のチャンバーカバーとして、酸化イットリウムセラミック窓は高温環境に耐え、RFエネルギーを効率的に伝達し、腐食に対抗することで、エッチングプロセスの安定性と部品の耐久性を確保します。
図面やサンプルに従った、カスタマイズやリバースエンジニアリングが可能です。
高硬度と優れた絶縁特性を特徴とし、半導体製造での安定性を保ち、損失を減少させます。
酸化イットリウムセラミックディスクは、エッチング装置のチャンバーや窓で重要な役割を果たし、プラズマの侵食を防ぎます。また、CMP研磨装置の理想的な研磨テーブル材料でもあり、半導体製造の精度と効率を確保するために堆積装置の重要部品にも適しています。私たちは、半導体や電子通信などの業界の厳しい要件に応じたカスタマイズセラミック部品を提供し、お客様の精密製造ニーズをサポートします。
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