エッチングおよび成膜プロセスにおけるセラミックエッジリング
セラミック・エッジリング（Ceramic Edge Ring）は、半導体の薄膜成膜装置やエッチング装置のプロセスチャンバー内に設置され、ウェーハ外周部に密着して配置される環状の機能部品です。主にウェーハのエッチングプロセスにおける均一性を最適化するために用いられます。
セラミック絶縁リングは半導体装置の信頼性向上をどのように確保するのか
半導体製造は、現代の工業システムにおいて、特に複雑性と高精度が求められる分野のひとつである。微細化プロセスが5nm、3nm、さらには2nmノードへと進展する中で、ウェーハ加工装置は高電圧・高周波・高エネルギーのプラズマ環境下において、長期間にわたり安定した稼働が要求される。
半導体製造向け高精度ウェーハ搬送アーム
ウェーハ搬送アームは、半導体製造装置で用いられる高精度自動搬送装置であり、各種プロセス工程間でウェーハを安定かつ正確に移載し、表面をキズや汚染から保護する役割を果たします。
導電性セラミックアームとは？主な特性の解説
導電性セラミックアームは、ウェーハ搬送アーム、エンドエフェクター、セラミック搬送アーム、セラミックロボットアームなどとも呼ばれます。高性能な導電性セラミックスを骨格とした精密搬送用アームで、半導体製造におけるウェーハの搬送・移送専用に設計された部品です。
半導体セラミックスの現代チップ生産における応用
半導体産業は、現代の電子情報社会を支える重要な基盤です。スマート端末から高性能コンピューティング、電気自動車（EV）、そして5G通信に至るまで、チップの安定性と信頼性が産業全体の競争力を左右します。
構造用セラミックスの産業応用
構造セラミックとは？比類のない耐久性と強度により、構造セラミックが航空宇宙、エネルギー、製造業の各分野でどのようにパフォーマンスを向上させるかをご覧ください。
ファインセラミックスとは-用途と種類
この記事では、ファインセラミックスの概念、一般的な種類、適用可能な業界や用途について詳しく説明します。エンジニアやバイヤーにとって必読です。
アルミナセラミックスの生体医療および臨床応用
卓越した生体適合性、耐摩耗性、そして長期安定性で高い信頼を得ているアルミナセラミック。整形外科用関節置換材や歯科修復材として選ばれるアルミナセラミックが、現代医療現場において患者様に安全で耐久性があり、効果的なソリューションを提供している理由をご覧ください。
なぜアルミナセラミックスは多くの産業にとって不可欠なのか？
アルミナセラミックが、現代の製造業と精密エンジニアリングの最も厳しい要求を満たしながら、並外れた強度、優れた断熱性、そして永続的な耐久性をどのように実現するかをご覧ください。
アルミナAl₂O₃の用途とは？
セラミックから半導体まで、アルミナが様々な業界でどのように使用されているかをご覧ください。主要な用途と、この素材が広く評価されている理由を探ります。
