01 洗浄可能な材料
- 金属および合金
- セラミック
- 石英
- ガラス
- サファイア
- ポリマー
- シリコン
- コーティング部品など
02 汚染物質の除去
- 有機物
- 酸化物
- 炭化水素
- 粒子（サブミクロン）
- オイル
- グリース
- 水酸化物
- 薄膜
- 無機物
- コーティング
- 金属
03 洗浄方法
- 化学洗浄
- 脱脂
- 酸化還元剤
- アルカリ/酸エッチング剤
- 脱イオン水洗浄
- 選択的エッチング
- 物理/機械洗浄
- 高压
- CO2 洗浄
- ブラスト処理
- 超音波
- 研磨
- アーク溶射
洗净前洗濯後
洗净前洗濯後
洗净前洗濯後
洗净前洗濯後
| 0.1 UM PARTICLE/CM² (SPEC- ≤ 1/CM²) |
1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 |
| 0.02 | 0.03 | 0.02 | 0.01 | 0.03 | 0.02 |
| UNIT | ELEMENTS | (AL) | (CA) | (CR) | (CO) | (CU) | (FE) | (K) | (NA) | (TI) |
| 1E10ATOMS /CM² |
SPEC | 300 | 200 | 100 | 100 | 100 | 100 | 200 | 200 | 100 |
| 样品 | 56 | 46 | 15 | 20 | 5 | 7 | 46 | 68 | 16 |
