セラミック窓

製品の説明

陶瓷ウィンドウは半導体エッチング装置における重要な部品で、真空シールを確保し、高温および酸アルカリ腐食の過酷な環境で安定性を維持します。JFMは、高純度アルミナとイットリウム酸化物の先進的な陶磁器素材を用い、精密成形、焼結、加工、表面処理技術により、極限環境に耐えるカスタマイズされた陶磁器ウィンドウソリューションを提供します。
材料特性

耐摩耗性

耐熱性

耐食性

耐プラズマ侵食性

高強度

高硬度

お客様の用途に応じて製品をカスタマイズします。

お客様のニーズに合わせて製品設計の改善、性能向上・コスト削減のご提案をします。

製品アプリケーションのアフターサービス体制の充実。

		Alumina							Yttria
Item (JFM)	Unit	JC-AZ025A	JC-A995A	JC-A990A	JC-A995A	JC-A997A	JC-A997B	JC-A999A	JC-Y100A
Physical Property
Content	%	-	95.0%	99.0%	99.5%	99.7%	99.7%	99.9%	-
Colour		Milky White	White	White	Milky White	Milky White	Milky White	White	Greyish White
Density	g/cm3	4.4	3.7	3.8	3.9	3.92	3.94	3.95	4.9
Mechanical Behavior
Vickers Hardness	GPa	15	13.7	15.2	16.0	17.2	17.2	17.5	6
Bending Strength	Mpa	650	350	310	360	380	380	400	130
Compressive Strength	Mpa	-	-	2160	2350	2380	2400	2560	3000
Young's Modulus	GPa	320	320	360	370	380	380	380	160
Poisson's Ratio	/	0.25	0.23	0.23	0.23	0.23	0.23	0.23	-
Fracture Toughness	Mpa.m1/2	5	3-4	3-4	4	4.8	5	5.4	1.1
Thermal Property
Coefficient of Thermal Expansion	10-6/°C	9	7.2	7.2	7.2	7.2	7.2	7.2	7.2
Thermal Conductivity	W/(m.K)	19	24	29	32	32	32	34	14
Specific Heat Capacity	J/(g.K)	-	0.78	0.79	0.78	0.79	0.79	0.78	0.45
Maximum Operating Temperature	°C	1600	1500	1600	1600	1600	1600	1600	1800
Electrical Property
Dielectric Strength	kv/mm	-	15	15	15	15	15	15	11
Dielectric Constant （1MHz）	-	-	9.4	9.9	9.9	9.9	9.9	9.9	11
Dielectric Losses （1MHz）	（X10-4）	-	4	2	1	1	1	1	5
Volume Resistivity 20℃	Ω.cm	>10¹²	>10¹⁴	>10¹⁴	>10¹⁴	>10¹⁴	>10¹⁴	>10¹⁴	>10¹³
Volume Resistivity 300℃	Ω.cm	-	10¹⁰	10¹⁰	10¹³	10¹³	10¹³	10¹³	10¹⁰

* このデータはラボでのテスト結果の一例です。特定の製造プロセスでの実際の特性とは異なる場合があります。

* このデータはラボでのテスト結果の一例です。特定の製造プロセスでの実際の特性とは異なる場合があります。

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