イオン注入装置用のセラミック材料部品

主に高純度の酸化アルミニウム、窒化シリコンなどのセラミック材料で製造された、イオン注入機のセラミック材料のスペアパーツを提供します。精密空気ベアリング部品、計測器、超フラット真空吸着カップ、熱安定ピン、ネジおよびフレーム、絶縁リング、干渉計リファレンスミラー、スケールベースなどの精密セラミック材料部品を提供しています。