ウェーハ検査装置用のセラミック部品

私たちは、光リソグラフィーおよびウェーハ処理の要件を満たす高純度で高品質のセラミック材料部品を提供しています。これには、ランプカバー、プラズマ管および光源コンポーネント、ヒートシンク、ウェーハチャック、ステップチャック、多孔チャック、静電チャック、フォトマスク基板、セラミックガイドレール、ウェーハステージコンポーネント、作業台、電気絶縁体コンポーネントなどがあります。