るつぼ

製品の説明

セラミック製のるつぼ（ベルジャー）は、高硬度、耐摩耗性、耐食性、絶縁性、高い熱伝導率などの優れた性能特性を備え、電子部品・通信業界で広く採用されています。特に高温・腐食性に優れているため、特殊ガスを用いたプロセスチャンバーに広く使用されており、優れた耐久性により装置のメンテナンスサイクルを大幅に向上させ、装置の寿命を延ばします。
材料特性

耐摩耗性

耐熱性

耐食性

高断熱性

絶縁性

環境配慮

お客様の用途に応じて製品をカスタマイズします。

お客様のニーズに合わせて製品設計の改善、性能向上・コスト削減のご提案をします。

製品アプリケーションのアフターサービス体制の充実。

		Alumina							Quartz
Item (JFM)	Unit	JC-AZ025A	JC-A995A	JC-A990A	JC-A995A	JC-A997A	JC-A997B	JC-A999A	JQ-Q100
Physical Property
Content	%	-	95.0%	99.0%	99.5%	99.7%	99.7%	99.9%	-
Colour		Milky White	White	White	Milky White	Milky White	Milky White	White	Transparent
Density	g/cm3	4.4	3.7	3.8	3.9	3.92	3.94	3.95	2.2
Mechanical Behavior
Vickers Hardness	GPa	15	13.7	15.2	16.0	17.2	17.2	17.5	10
Bending Strength	Mpa	650	350	310	360	380	380	400	80
Compressive Strength	Mpa	-	-	2160	2350	2380	2400	2560	-
Young's Modulus	GPa	320	320	360	370	380	380	380	90
Poisson's Ratio	/	0.25	0.23	0.23	0.23	0.23	0.23	0.23	0.17
Fracture Toughness	Mpa.m1/2	5	3-4	3-4	4	4.8	5	5.4	-
Thermal Property
Coefficient of Thermal Expansion	10-6/°C	9	7.2	7.2	7.2	7.2	7.2	7.2	0.5
Thermal Conductivity	W/(m.K)	19	24	29	32	32	32	34	1
Specific Heat Capacity	J/(g.K)	-	0.78	0.79	0.78	0.79	0.79	0.78	1
Maximum Operating Temperature	°C	1600	1500	1600	1600	1600	1600	1600	1150
Electrical Property
Dielectric Strength	kv/mm	-	15	15	15	15	15	15	11
Dielectric Constant （1MHz）	-	-	9.4	9.9	9.9	9.9	9.9	9.9	4
Dielectric Losses （1MHz）	（X10-4）	-	4	2	1	1	1	1	1
Volume Resistivity 20℃	Ω.cm	>10¹²	>10¹⁴	>10¹⁴	>10¹⁴	>10¹⁴	>10¹⁴	>10¹⁴	>10¹⁴
Volume Resistivity 300℃	Ω.cm	-	10¹⁰	10¹⁰	10¹³	10¹³	10¹³	10¹³	-

* このデータはラボでのテスト結果の一例です。特定の製造プロセスでの実際の特性とは異なる場合があります。

* このデータはラボでのテスト結果の一例です。特定の製造プロセスでの実際の特性とは異なる場合があります。

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