一般的な半導体応用およびウェハ処理

一般的な半導体応用およびウェハ処理

精密セラミック部品製造の分野でのパートナーとして、JFMは半導体装置に対して包括的なソリューションを提供することに取り組んでいます。これは、電荷散逸ENDエフェクター、ヒーター、リフティングピン、真空破壊フィルターなどの高性能製品を含みます。高純度で高性能のセラミック材料を選定することは非常に重要であり、使用される材質には酸化物(Al2O3)、窒化ケイ素(Si3N4)、窒化アルミニウム(AlN)、および炭化ケイ素(SiC)などがあり、これらは半導体装置の高クリーン度、高安定性、高精度、高効率、高信頼性の要件を満たすことができます。

 

リフティングピン

リフティングアクションを通じてウェハや他のコンポーネントの支持と位置決めを実現します。比較的シンプルなコンポーネントではありますが、その加工プロセスや材料の選定は性能と耐用年数に重要な影響を与えます。これらの要求は、リフティングピンが高精度かつ高効率の半導体製造プロセスで安定して信頼性のある動作を確保することを保証します。
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