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  • 製品の説明

    セラミックアームは精密産業において搬送と位置決めの重要な部品であり、特に半導体製造に不可欠です。酸性およびアルカリ性の環境、高温でも安定して動作します。高精度かつ長寿命のセラミックアームはメンテナンスの必要を減少させ、生産効率を向上させ、自動化システムでの製品品質の向上に寄与します。JFMは効率的な生産プロセスを通じて短納期を実現し、顧客に高品質な製品を迅速に提供し、ビジネスの発展をサポートします。

  • 材料特性

    高温耐性
    耐摩耗性
    高い機械強度
    耐腐食性
    高精度
    低膨張係数
    高硬度

技術サポート

お客様の用途に応じて製品をカスタマイズします。

お客様のニーズに合わせて製品設計の改善、性能向上・コスト削減のご提案をします。

製品アプリケーションのアフターサービス体制の充実。

  Alumina Zirconia Yttria Aluminum Nitride Silicon Nitride Silicon Carbide
  Properties Unit JC-AZ025A JC-A995A JC-A990A JC-A995A JC-A997A JC-A997B JC-A999A JC-Z08 JC-ZA20 JC-Y100A JC-AN100A JC-AN180 JC-SN-GPS-01 JC-SN-GPS-02 JC-SC101
  Physical Property  
  Content % - 95.0% 99.0% 99.5% 99.7% 99.7% 99.9% - - - - - - - -
  Colour   Milky White White White Milky White Milky White Milky White White Milky White Milky White Greyish White Milky White Greyish White Greyish White Greyish White Black
  Density g/cm3 4.4 3.7 3.8 3.9 3.92 3.94 3.95 6.0 5.6 4.9 3.2 3.3 3.21 3.23 3.15
  Mechanical Behavior  
  Vickers Hardness GPa 15 13.7 15.2 16.0 17.2 17.2 17.5 12.5 10.5 6 11.2 10.5 13.5 14.8 23
  Bending Strength Mpa 650 350 310 360 380 380 400 1000 750 130 220 320 720 900 500
  Compressive Strength Mpa - - 2160 2350 2380 2400 2560 2100 2300 3000 450 - 3200 3200 3900
  Young's Modulus GPa 320 320 360 370 380 380 380 200 200 160 310 320 300 310 420
  Poisson's Ratio / 0.25 0.23 0.23 0.23 0.23 0.23 0.23 0.31 0.31 - 0.24 0.24 0.28 - 0.17
  Fracture Toughness Mpa.m1/2 5 3-4 3-4 4 4.8 5 5.4 4.6 7.4 1.1 3.2 3.3 6.5 7 3.2
  Thermal Property  
  Coefficient of Thermal Expansion 10-6/°C 9 7.2 7.2 7.2 7.2 7.2 7.2 10.5 10 7.2 4.6 4.6 2.8 2.8 4.3
  Thermal Conductivity W/(m.K) 19 24 29 32 32 32 34 3 3 14 120 180 26 28 160
  Specific Heat Capacity J/(g.K) - 0.78 0.79 0.78 0.79 0.79 0.78 0.46 0.46 0.45 0.72 0.72 0.64 0.64 0.67
  Maximum Operating Temperature °C 1600 1500 1600 1600 1600 1600 1600 2200 1600 1800 800 800 1200 1200 1600
  Electrical Property  
  Dielectric Strength kv/mm - 15 15 15 15 15 15 11 13 11 16 14 13 13 -
  Dielectric Constant （1MHz）  - - 9.4 9.9 9.9 9.9 9.9 9.9 33 28 11 8.5 8.6 9.6 9.6 -
  Dielectric Losses （1MHz） （X10-4） - 4 2 1 1 1 1 16 17 5 2 3 3 3 -
  Volume Resistivity 20℃ Ω.cm >1012 >1014 >1014 >1014 >1014 >1014 >1014 1013 >1014 >1013 >1014 >1014 >1014 >1014 108
  Volume Resistivity 300℃ Ω.cm - 1010 1010 1013 1013 1013 1013 106 106 1010 1011 1010 1012 1012 -

* このデータはラボでのテスト結果の一例です。特定の製造プロセスでの実際の特性とは異なる場合があります。

  • 密度
  • 曲げ強度
  • 圧縮強度
  • ヤング率
  • 破壊靭性
  • 熱膨張係数
  • 熱伝導率
  • 比熱容
  • 最高使用温度
  • 誘電率(1MHz)

* このデータはラボでのテスト結果の一例です。特定の製造プロセスでの実際の特性とは異なる場合があります。

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