ルテニウムスパッタリングターゲッ

 製品の説明

ルテニウムスパッタリングターゲットは、先端半導体製造、磁気ストレージ、精密電子分野で使用される貴金属スパッタリング材料です。 高融点、優れた導電性、耐食性を備えており、機能層、バリア層、ゲート電極、長寿命電極接点などの形成に使用されます。 JFMでは、ルテニウムスパッタリングターゲットを取り扱っており、薄膜の均一性、プロセス安定性、成膜品質が求められる用途に対応可能です。