白金スパッタリングターゲットは、高精度な薄膜成膜に使用される貴金属ターゲット材であり、過酷な環境下や精密な化学条件下で使用される電子部品に適しています。 白金は高い融点、優れた化学的安定性、耐食性を有しており、センサー電極、半導体メモリ層、光学薄膜などの形成に使用されています。 JFMでは、白金スパッタリングターゲットを取り扱っており、お客様の成膜品質、プロセス安定性、長期使用信頼性に対する要求に応じた材料選定をサポートいたします。
白金スパッタリングターゲットは、高信頼性電子メタライゼーションおよび精密薄膜用途に適しており、以下の特長を備えています
白金スパッタリングターゲットは、主に以下の薄膜成膜および電子メタライゼーション用途に使用されます
| 項目 | 供給能力・技術特長 |
| 材料系 | 高純度白金スパッタリングターゲット |
| 形状 | 円形ターゲット、矩形ターゲット、その他プロセス要件に応じた異形ターゲットに対応 |
| 成膜特性 | 安定したスパッタリング特性を有し、良好な段差被覆性に対応 |
| 適用用途 | 半導体メタライゼーション、光学薄膜、医療機器向け保護膜、精密センサー電極形成 |
| 対応プロセス | マグネトロンスパッタリング、DCスパッタリング、各種真空薄膜成膜プロセス |
| 寸法対応 | 各種PVD装置のターゲット取付仕様およびプロセス要件に応じた寸法対応が可能 |
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